"SVCS" занимается производством и модернизацией горизонтальных термических реакторов, производством газовых шкафов для баллонных газов и систем объемных источников для специальных газов (BSGS), распределительных боксов (VMB) и газовых панелей, разработкой и производством газовых панелей для установок различного вида по заказу.



SVCS использует долголетний опыт производства газовых панелей и распределителей для разнообразных технологий производства полупроводников (диффузия, LPCVD-осождениe из газовой фазы низкого давления, эпитаксия, ионная имплантация, сухое травление), высокое качество и надёжность которых проверены в рабочих условиях на производстве у одного из ведущих американских производителей интегральных схем. Системы для подачи специальных газов SV-DELI предлагают технический дизайн высшего уровня, компоненты от передовых мировых производителей и полностью автоматизированное управление, включая контроль безопасности. SV-DELI представляет на рынке вероятно наивысшее достижимое соотношении между качеством и стоимостью оборудования.



SV DELI – система подачи газа содержит:
• ресурсные газовые шкафы для 1-го, 2-х или 3-х газовых баллонов;
• газовые распределители (VMB) для подключения необходимого количества единиц оборудования;
• газовые системы с высокой производительностью (BSGS);
• газовые системы для различного производственного оборудования.

Конфигурация ресурсных газовых шкафов:
• открытые газовые системы со сборкой панелей на стену (для инертных газов);
• шкаф для 1-го баллона с технологическим газом и с внешним источником продувочного газа;
• шкаф для 2-х баллонов;
• 2 баллона с технологическим газом с автома- тическим переключением и с внешним источ- ником продувочного газа;
• 1 баллон с технологическим газом и 1 баллон с продувочным газом;
• шкафы для 3-х баллонов (2 шт. технология + 1 шт. продувка), с автоматическим переключением.



Сайт производителя: www.svcs.cz